设备名称：大面积平板镀膜设夆�/p>

设备型号：JCPF1600~4500

真空系统：国产或进口分子� / 低温� + 罗茨� + 机械泵高真空系统

极限真空：优� 2.0×10-4Pa

抽速：从大气到 3.3×10-3Pa � 30min 升压率关� 12 小时后真空度� 10Pa

工件架尺寸：可根据尺寸定刵�/p>

工件烘烤温度 ：室温～ 300℃，可调可控（PID 控温（�/p>

配置：矩形磁控靶、弧源、离子源、偏压可逈�/p>

系统：全自动控制系统，个性化� Tech-Coating 控制菜单，安全保护系绞�/p>