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多功能磁控离子溅射复合镀膜机TSU650
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参考报价:
面议
品牌9/dt>
北京泰科诹/dd>
关注度:
220
样本9/dt>
暂无
型号9/dt>
多功能磁控离子溅射复合镀膜机TSU650
产地9/dt>
北京
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认证信息
高级会员 1平/div> 称: 北京泰科诺科技有限公司
证:工商信息已核宝br /> 访问量:7825
产品简今/div>

设备名称:多功能磁控离子溅射复合镀膜设夆/p>

设备型号:TSU650

真空腔室结构:立式圆柱形前开门,双层水冷,多通用法兰接口

真空腔室尺寸:?50mm×H650mm

工件架尺寸:Φ490mm?-6 工位 / 自转工件枵/p>

工件架烘烤温度:室温 500±5℃,可调可控(PID 控温(/p>

工件架运动方式:公转 0-5RPM 可调

辅助离子源:偏压、线性离子源辅助(可选)

阴极:矩形磁控靶、柱状靶、平面弧源、磁过滤弧源(可选) 国产或进口靶、或电源可逈/p>

控制方式:PLC 控制 / 工控机全自动控制可逈/p>

占地面积:主 L2800mm×W1200mm×H1950mm

总功率: 60kW

选购件:基片台加热系统、循环水机、膜厚控制系统等


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