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热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450

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参考报价：: 面议
品牌９�/dt>: 北京泰科诹�/dd>
关注度：: 263
样本９�/dt>: 暂无

型号９�/dt>: 热丝CVD金刚石膜沉积设备HF450
产地９�/dt>: 北京
信息完整度：
典型用户９�/dt>: 暂无

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专用设备

磁控蒸发复合镀膜机JCPF2600 钙钛矿太阳能电池蒸发设备ZDF3200 钙钛矿太阳能电池蒸发设备ZHDS400 高真空磁控溅射镀膜设备JCP650 电阻蒸发镀膜设备ZHD300 电阻蒸发镀膜设备ZHD400 高真空电子束蒸发镀膜设备TEMD500 高真空磁控溅射镀膜设备JCP200 高真空磁控溅射镀膜设备JCP350

半导体行业专用仪�?/a>

真空炈�/a>

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产品简今�/div>

设备名称：热� CVD 金刚石膜沉积设备

设备型号：HF450

真空腔室结构：立式前开门结构，后置抽气系统，双层水冶�/p>

真空腔室尺寸：�?50mmxH500mm

真空系统：复合分子泵高真空系绞�/p>

基片台尺寸：Φ100mm

衬底温度�?00 � 1100ℂ�/p>

电源：专用热丝电� 400A, 恒流或恒功率模式

气路控制�? 路气体流量控刵�/p>

控制方式：PLC 触摸屏控刵�/p>

占地面积：主� L1200mm×W1060mm×H1900mm

总功率：� 20kW

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