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北京泰科诺科技有限公司
证:工商信息已核宝br /> 访问量:8686
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产品简今/div>
基片台尺寸:抽屉式:150mm×120mm 可旋转、升陌/p>
膜厚不均匀性: ±5.0%?20mmx120mm 范围内)
溅射靶:6英寸3?/p>
溅射靶电源:1台RF?台DC
控制方式:PLC/PC 控制 ( 可 )
占地面积:L2500mmxW1600mmxH1900mm ( 不含手套 )
总功率:?5kW 三相五线刵/p>
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