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北京泰科诺科技有限公司
证:工商信息已核宝br /> 访问量:8704
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产品简今/div>
设备型号:JCPF2600
镀膜方式:磁控溅射
真空腔室结构:SUS304 方箱弎/p>
真空腔室尺寸:L2600mmxH700mmxW260mm
极限真空:优 5.0x10-5Pa
基片台尺寸:300mmx400mm向下兼容300mmx300mm
基片温度:常?/p>
溅射靶:矩形平面?套,旋转柱状?奖/p>
控制方式:PLC/PC 控制 ( 可 )
占地面积?5000mmx5000mm
供电总功率: 20kW 三相五线刵/p>
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