晶体重量 kg

80

160

200

工作环境

真空

加热方式

电阻弎�/span>

电压 V

3�?80

总功� KW

110

**温度 ℂ�/span>

2000

主轴行程 mm

700

500

主轴提速（低速）mm/h

0.1-5.0

主轴提速（高速）mm/h

2-200

主轴转� rpm

0.1-10

腔体容量 L

780

980

1400

外形尺寸

150×160×380

150×160×400

200×210×450