三靶大面积溅射系统之高分辨涡轮泵版本，CPU程序全自动控制，触膜屏用户界面，标配有挡板和靶材预清洁程序，既适合贵金属、也适合易氧化金属等多种靶材镀膜、�/p>

Q300T T镀膜仪是为薄膜应用而设计的多功能离子溅射镀膜仪，也是钨灯丝和场发射电镜观察之大样品制备的理想镀膜仪。为了确保精细沉积，Q300系列镀膜仪设有旋转样品台和三只相同的磁控靶组件，这也将提高采用低电压溅射的工作效率。该系统之高分辨涡轮泵版本Q300T T镀膜仪标配有挡板，作用是在保持真空条件下使易氧化金属靶材先进行清洁处理，然后再执行镀膜循环。所以，它既适合使用不氧化的贵金属如金（Au）、铂（Pt）等靶材镀膜，也适合易氧化金属如铬（Cr）、铝（Al）、钛（Ti）、锌（Zn）或氧化铟锡（ITO）、铱（Ir）等多种靶材镀膜、�/p>

和极其成功的Q150系列溅射仪、蒸镀仪一样，Q300T T型镀膜仪装在一个符合人机工程学设计的、坚固的整体成型机箱中，并且集成有触摸屏控制，对有经验的熟手�?*次使用的用户都适合的简单操作，从而可提供**的镀膜质量、�/p>

主要特点９�/p>

? Large format chamber.The Q300T T sputter coaters incorporate a 300mm x 127mm work chamber and the sample stage accepts substrates up to 8� in diameter. An extended height glass chamber is available as an option to enable coating of larger format samples. 大腔室。Q300T T型溅射镀膜仪设有尺寸�?00mm x 127mm的工作腔室和适用�?*直径�?”样品的样品台。可选配加长高腔室，以便于大且高的样品镀膜、�/p>

? Triple sputter head 三靶大面积溅尃�/p>

? High resolution turbo pumped system 高分辨涡轮泵版本；抽�? m3/hr的涡卷泵或隔膜泵(隔膜泵仅用于Q300T T)可很好地替代普通的前级旋转机械泵，适合于无油或无尘室环境质量要求高的抽真空场合、�/p>

? Fully automated touch screen control 全自动触摸屏控制

? Coater logging option 镀膜仪日志（选项（�/p>

? Customer defined coating protocols 用户自定义镀膜方桇�/p>

? Film thickness monitor option 膜厚监控（选项），可通过腔室内的晶振片装置测量镀膜厚度，也可预设厚度去控制材料沉积在样品上的膜厚度，达到需要的镀膜厚度时，镀膜仪可自动停止镀膛�/p>

? Vacuum shutdown 真空闭锁功能

? Emergency stop switch 紧急停止开兲�/p>