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光学仪器及设夆/a>
制样/消解设备
其他
液体处理设备
辐射测量仪器
仪器简介:
K1050X等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成,同时两种处理气体流量针阀监控,全部或部分通气口控制、/p>
它的腔室为圆柱形,样品装载为抽屉式抽拉系统,方便使用、/p>
真空系统为旋转机械泵或可选用膜片泵作为前级真空的涡轮分子泵、/p>
在真空装载端口及SEM/TEM中特殊的清洁应用时,可方便更换抽屉式抽拉系统、/p>
此系统通常使用氧及氩的混合气体,氧去除有机物质(碳氢化合物),氩对样品表面进行刻蚀、/p>
应用9/p>
石棉试样制备
有机材料微观灰化
SEM&TEM中有机样品刻蚀
去除光刻胶及电子元件中的包胶
塑料品的表面处理
SEM/TEM中的样品夹清洖/p>
煤的灰化
技术参数:
仪器尺寸?50mm W x 350mm D x 300mm H 重量?5Kg
桶形工作腔室:‘Pyrex?60mm L x 110mm Dia.(硼硅酸盐玻璃作为标准配置)
拉出式抽屉:样品托盘为抽拉式
等离子输出:射频电源-固?50瓦射频峰值,通常操作范围?5?5 @ 13.56mhz.
(备注:所使用的频率为国际标准组织CISPR认可的“工业”频?
真空测量范围:完整的操作真空显示的活性计量头ATM - 1x10-5 mbar全刻?通常操作真空?.5mbar?.0mbar
数字计时单元?9.9小时选择范围时间显示。在灰化过程结束后自动终止、/p>
双气体流控制:双气体针阀控制,可??或两种气体(校准5 100cm3/ 空气 @ A.T.P.(/p>
电源?30V 50Hz (包括?*电流5 Amp)?15V 60Hz(包括?*电流10 Amp)
Services Process Gas at nominal 5 psi (0.33bar)
真空泵:No. 2 (with a synthetic oil ''Fomblin'' for Oxygen or Corrosive Process Gases.) 2m3/Hr
主要特点9/strong>
特点9/p>
固态射频发生器及调谐电?/p>
全自动控刵/p>
抽屉式结枃/p>
两种处理气体
紧凑的台式系绞/p>
优点9/p>
低温灰化过程
易操佛/p>
?卸样品方侾/p>
可选择不同的混合气佒/p>
节省空间
注:我们建议使用No. 2泵,它具有“专用的油”
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