证:工商信息已核宝br /> 访问量:52208
光学仪器及设夆/a>
制样/消解设备
其他
美国PIE Scientific LLC公司出品的SEMI-KLEEN 等离子清洗仪 采用低压清洗技术,可清洗各种类型电子或者离子显微镜,深紫外光刻机,电子光刻系统等真空仪器、/p>
本仪器由一个LCD触摸屏控制器和一个远程射频(RF)等离子源组成,远程等离子源通过一个KF40真空法兰连接到待清洗真空室,有转接法兰提供。主要用于清洗各种扫描电?SEM),透射电镜(TEM),聚焦离子系?FIB),离子显微镜(HIM)等真空系统中碳氢及其他污染。同时清洗真空腔体和样品?详情请咨询PIE中国总代理南京覃思科技有限公司)
一. 特有功能
1. 优越的等离子技术,可以在小?.1毫托的气压下点火并且保持稳定的等离子体?低工作气压比其他同类产品?0?00倍。低气压清洗速度更快,更均匀,对电子枪和分子泵更安全:/p>
2. 即时等离子起辉技术。不用像在其他同类产品上那样担心等离子是不是成功起辉:/p>
3. 带气压计的自动气体流量控制;
4. 实时测量等离子强度,用户可以根据这个实时反馈来优化清洗配方;
5. 自动射频匹配实时保证**化射频耦合,即使用户调节清洗配方;
6. **保护的双层颗粒过滤器设计保证我们的产品满足Intel,台积电,三星等半导体用户的严格颗粒污染要求:/p>
7. 带LCD触摸屏的直观操作界面:/p>
8. 微电脑控制器带可修改的智能清洗计划,设好就自动清洗您的系统;
9. 支持清洗配方,一键开始,自动射频匹配,自动控制气体流量;
10. 微电脑控制器可记录所有信息状态,便于系统维护、/p>
? 技术指栆/strong>
1. 等离子源真空接口:NW/KF40 法兰; 提供转接法兰:/p>
2. 标配等离子强度传感器:/p>
3. 等离子源*低点火起辉气压:<0.1毫托:/p>
4. 等离子源**工作气压91.0 托;
5. 漏气率:<0.005sccm:/p>
6. 射频输出?~100瓦,连续可调节;
7. 具有射频自动匹配功能
8. 电源和功率:110V/220V 50/60 Hz 200 ?/p>
- 推荐产品
- 供应产品
- 产品分类
- 精密磨抛?打磨?Technoorg透射电镜制样)
- QUORUM扫描电镜冷冻传输CryoSEM
- 英国Quorum K25X扫描电镜冷台
- 微型金刚石锯(Technoorg透射电镜制样)
- 英国QUORUM牌冷冻制备传输系?冷冻?
- 透射电镜校准标样
- 英国Quorum K750X冷冻干燥?Peltier制冷)
- 扫描电镜冷冻制备传输系统(冷冻?
- 镶嵌加热台(Technoorg透射电镜制样设备(/a>
- 英国Quorum Q300R大腔室、多功能全自动离子溅射镀膜仪
- 英国Quorum Q300T大腔室、多功能全自动高真空离子溅射镀膜仪
- 德国Royal公司Intas系列凝胶成像系统
- 德国Ditabis/HLC模块调温?加热/冷却)
- 英国Quorum临界点干燥仪E3100
- ACCUR2000型倒置显微镜电动扫描平?/a>
- 美国PIE等离子清洗仪
- 英国DEBEN KED Centaurus CL探测?/a>
- 精密离子减薄?/a>
- Tergeo等离子清洁仪
- 低能量离子减薄仪
- ACCUR1000显微镜电动样品台
- Quorum Q150R PLUS系列全自动离子溅射镀膜仪
- Tergeo EM等离子清洁仪
- CCD摄像头及图像分析软件\显微镜改速/a>
- SC20型主动消磁系统(DC-5KHz(/a>
- 英国Quorum K1050X射频等离子刻蚀清洗系统
- LVEM5低压桌上型透射电镜(超小型台式透射电镜)
- 英国Deben EBIC放大?感生电流成像)
- 美国EM-KLEEN电镜腔远程等离子清洁?/a>
- DTH-100干式恒温器(加热型)
- 英国QuorumSC7620离子溅射镀膜仪
- 大腔室多功能高真空双头离子溅射镀膜仪
- 光学仪器及设夆/a>
- 制样/消解设备
- 其他
- 生物工程设备
- 恒温/加热/干燥设备
- X射线仪器
- 液体处理设备
- 辐射测量仪器
- 临床检验仪器设夆/a>
- 混合朹/a>
- 微生物检测仪?/a>
- 比表面积测定?/a>
- 泴/a>