Tergeo EM型SEM及TEM样品/样品杆清洁专用等离子清洁�?/strong>

PIE Scientific专注研发先进的实验室用等离子仪器，用亍�/span>SEM/TEM样品清洁�?/span>光刻胶蚀刻、等离子体增强沉积、表面处理与活化。我们的宗旨是：将半导体和核工程研究中开发的**等离子技术集成到经济实用的实验室用等离子仪器、�/span>

专为去除SEM & TEM样品的碳氢污染而设计。特有的双清洗模式（immersion咋�/span>downstream）能够处理各种不同的样品，从严重污染的电子光学孔径光阑到各种脆弱易损样品，如石墨烯、碳纳米管、类金刚石碳膜以及多孔碳支持膜铜网上皃�/span>TEM样品。石英样品托板上的孔洞可以安装标凅�/span>SEM样品托。特别设计的适配器可以清洁不同厂家的TEM样品杆、�/span>

特点９�/span>

1.系统具有双等离子源。浸入式等离子源用于主动表面处理、光刻胶蚀刻。远程式等离子源用于温和的污染清除以及脆弱易损样品的表面活化

2.13.56MHz高频射频发生�?/span>

3. 7英寸触摸屏控制界面，全自动操佛�/span>

4. 标配75W版本，可�?50W版本

5. 标配2路气体输入，可选第三路气体输入

6. 可选与FEI、JEOL、HITACHI等TEM样品杆配套的专用适配�?/span>

7. AC输入９�span>通用(110~230V� 50/60Hz)

除了Tergeo EM垊�/span>SEM & TEM样品清洁专用等离子清洁仪，另月�span>Tergeo Basic基本型等离子清洁仪和Tergeo Plus型大腔室等离子清洁仪，欢迎选购�?/span>