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光学仪器及设夆/a>
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Q150T PLUS系列全自动高真空镀膜仪
英国QUORUM出品的Q150T Plus是一款优化设计的带涡轮分子泵抽真空的镀膜设备,真空度可?x10-5mbar。可以溅射具有超细成膜颗粒的易氧化金属,适用于高分辨率成像。同样地,低散射可得到均匀而致密的无定形碳膜、/p>
Q150T E和ES PLUS使用碳棒头作为标准配置;Q150T S和ES PLUS溅射贵金属和易氧化金属、/p>
推荐放大倍数9/p>
? Au、Au/Pd可达5万倌/p>
? Pt可达10万倌/p>
? Cr、Ir可达10万倍以三/p>
非常适合薄膜应用,例如镀ITO、W、Al、Zn等、/p>
推荐应用9/p>
? 扫描电镜高分辨率放大应用
? FIB中镀保护性铂屁/p>
? 腐蚀、摩擦和磨损保护层的研发
? 医疗设备上的保护屁/p>
? BSE成像
? EDX WDS EBSD分析
? 蒸镀碳覆型膜
Q150T Plus 功能特点9/strong>
1)全新升级的用户界面9/p>
? 电容式触摸屏,灵敏度高,更易触控使用
? 用户界面软件全面更新,使用现代智能技术界靡/p>
? 全面的文字帮助页靡/p>
? USB接口可轻松进行软件更新和数据备份
? log文件格式?csv,内含日期、时间和工作参数,导出后可在Excel或类似软件中分析
? 16GB的闪存可储存超过1000条镀膜方桇/p>
? 双核ARM处理器,可实现快速响应的显示
2)允许多用户输入和储存镀膜方案,并根?近的使用来排列每个用户的方案、/p>
3)智能逻辑系统自动识别插入头,并显示相应的操作设置和控制、/p>
4)系统提示用户确认靶材,然后自动为该材料选择合适参数、/p>
5)直观方便的软件,即使新手也能快速输入和存储其处理参数,创建自己的镀膜程序,且系统已存储典型的溅射和镀碳程序可供直接调用、/p>
6)如果软件检测到在一段时间内无法达到设定真空度,系统会终止程序,以防真空泵过热、/p>
7)可互换的插入头:允许用户将系统配置为溅射镀膜仪、蒸镀仪或辉光放电系统 - 所有这些系统都可集成在一个设备中,节省空间。可选碳绳蒸发。可自动检测识别插入头类型、/p>
8)可拆卸腔室,设有防爆罩:可拆卸玻璃腔室,易清洁底座和顶板。如需要,用户可快速更换腔室以避免敏感样品交叉污染。高腔室选项可用于碳蒸发,避免样品过热;提高溅射的均匀性和承载较高尺寸的样品、/p>
9)多种样品台可选:Q150T Plus具有可满足大多数要求的样品台。所有样品台都是插入式(无螺丝),易于更换、/p>
10)独特的“可控斜坡碳棒蒸发”、“磁控冷溅射”和“脉冲清洁用于溅射Al”等先进技术、/p>
11)安全性符合行业CE标准、/p>
Q150T Plus具有三种型号9/strong>
1)Q150T S Plus全自动溅射镀膜仪,可溅射易氧化金属及贵金属。可溅射的靶材包括铬、铱、钨、ITO、铝和其它靶材、/p>
2)Q150T E Plus全自动蒸发镀碳仪(碳?碳绳),适合SEM领域的EDS和WDS应用。可选金属蒸?光阑清洁头、/p>
3)Q150T ES Plus是集成了离子溅射和热蒸镀两种方式的一体化高真空镀膜系统。镀膜头可在数秒内更换,可选金属蒸?光阑清洁头、/p>
Q150T Plus是Quorum Technologies出品的国际认可的Q系列镀膜仪的一部分,全球数千家客户使用此类镀膜仪。Q系列旨在为SEM、TEM和薄膜应用提供高质量的镀膜解决方案,Q系列功能多样、价格合理且易于使用、/p>
主要操作9/strong>
1)离子溅射:溅射电流可设范围宽,至预设厚度(需选用FTM)终止或定时终止。可设溅射时间宽,无需破真空,自动内置冷却占空比、/p>
2)蒸镀:可用碳棒(可选碳绳)蒸镀碳膜;选用钨篮或钼舟进行金属热蒸发;选用标准钼舟清洁TEM光阑
3)可视化状态指礹/p>
大而多色的LED指示灯,使用户在一定距离就可轻松识别过程状态。指示灯可显示以下状态:
初始化中 程序运行
空闲状 正在镀膛/p>
程序完成 故障停机状?/p>
程序完成后音频声音提示、/p>
覃思科技是英国QUORUM仪器的中国区代理商和服务商,请访?/p>
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