技术成枛�/p>

零微管密度控制技�?/p>

单一晶型控制技�?/p>

包裹物控制技�?/p>

电阻率控制技�?/p>

杂质调控技�?/p>

衬底台阶宽度控制技�?/p>

衬底面型控制技�?/p>