TFC-6500B，微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）设备是***� CVD 系统。针对用户的具体要求设计和研制的一台多用途、高稳定中等压强� 波等离子体（MPCVD）综合设备、�/span>

产品特�?/p>

* 高纯高真空不锈钢腔体(无硅污染 )

� �?5%功率高效稳定运行

★可单次生产7*7 mm单晶毛坯21粑�/p>

� 水冷却腔�?无风冷噪�?

� 可均匀生产2 inc多晶

� 产品净度等级可达VVS�?/p>

*生长机台可自动调节范围达15MM