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TESCAN AMBER镓离子型双束扫描电镜
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TESCAN AMBER 是TESCAN第四 FIB-SEM 的新成员,是一款超高分辨双 FIB-SEM 系统,它可以提供****的图像质量,具有强大的扩展分析能力,并能?*的精度、效率完成复杂的纳米加工和操作,可满足现今工业研发和学术界研究的所有需求、/span>

TESCAN AMBER FIB-SEM的优点:

  • 新一代镜筒内电子加速、减速技术,保证了复杂样品的低电压高分辨观测能力

  • **配置的静?电磁复合物镜,物镜无磁场外泄,实现磁性样品高分辨成像及分枏/span>

  • 配置4个新一代探测器,可实现9种图像观测,对样品信息的采集更加全面

  • 配置大型样品室,有超?0个扩展接口,为原位观测、分析创造了良好的工作环墂/span>

  • 可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件,?*实现与TOF-SIMS、Raman联用

  • 新一代操作软件和自动功能,FIB镜筒具有全自动的离子镜筒对中,极大简化了操作

新一 Orage? Ga FIB镜筒,适用于各类具有挑战性的纳米加工任务

TESCAN AMBER 配置?* BrightBeam? 镜筒,实现了无磁场超高分辨成像,可以**化的实现各种分析,包括磁性样品的分析。新型镜筒中的电子光路设计增强了低能量电子成像分辨率,特别适合对电子束敏感样品和不导电样品的分析。创新的 Orage? Ga FIB 镜筒配有***的离子枪和离子光学镜筒,使得TESCAN AMBER成为了世?*的样品制备和纳米图形成型的仪器、/p>

TESCAN AMBER 束流可达100nA,具有超快速的加工能力,新颖的 SmartMill 高速切割功能,使得加工效率提升一倍、/p>

TESCAN AMBER 离子能量*低可?00eV,拥有更优秀的低压样品制备能力,可以快速制备无损超薄TEM样品、/p>

可以配置TESCAN自有或第三方的多种扩展分析附件,?*实现与TOF-SIMS、Raman一体化、/span>

新一代OptiGIS?气体注入系统TESCAN AMBER可配?*的多种探测器,包括透镜内Axial detector 以及 Multidetector,可选择不同角度和不同能量来收集信号,体现更多种类的信息,同时获得更好的表面灵敏度和对比度、span>TESCAN AMBER有两种气体注入系统可供选择,标准的5?GIS和新一代OptiGIS单针-GIS,单针的OptiGIS支持通过更换气罐来更换化学气体,避免了以往多针气体注入系统样品仓内占用空间大的问题、/p>

两种气体注入系统均可以选择多种沉积气体,其中W、Pt、C等用于导电材料沉积,SiOx用于绝缘材料沉积,XeF2、H2O等用于增强刻蚀,或其它定制气体、/span>

新一代Essence?操作软件,更简单、高效的操作平台TESCAN AMBER可配?*的多种探测器新操作软件极大简化了用户界面,能快速访问各主要功能,减少了繁琐的下单菜单操作,并优化了操作流程向导,易于学习,兼容多用户需求,可根据工作需要定制操作界面、/p>

新颖的样品室?D空间位置和移动轨迹模拟功能,可避免误操作,造成碰撞、/p>

样品室内?D空间位置和移动轨迹模拞/span>

集成多项创新性设计,拓展新应用领域的利器TESCAN AMBER可配?*的多种探测器,集成了BrightBeam? SEM镜筒、Orage? Ga-FIB镜筒、OptiGIS气体注入系统等多项创新设计,在高分辨能力、原位应用扩展能力和分析扩展能力方面达到了业?*水平,此外新一代操作流程和软件也给使用者带来更舒适、高效的体验、/span>

* TESCAN AMBER S8000G 升级机型、/span>

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