带空气轴承的PIglideAT3线性平�?/span>

产品概述

PIglide系列平台配备伺服驱动器线性电机，电机配置带预载的空气轴承和集成线性编码器。这类非接触式零件的组合形成了一个无摩擦运动平台，可提供让人满意的性能、质量和使用寿命、�/p>

高推动力线性电机可以在几毫秒内将平台驱动至髗�/span>速度，高承载能力轴承可支承重�?0 公斤的有效载荷。该型号中的侧面相对、主动预载空气轴承设计可实现任意方向上的安装、�/p>

应用领域

PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描、�/p>

由于无摩擦运动，因此不会形成颗粒，从而使平台成为无尘室应用的优先选择、�/p>

附件和可选配仵�/h3>

• 编码�?/p>

• PIglide过滤器和空气预处理器

• 单轴和多轴运动控制器

• XY装置和个性化配置

• 电缆轨道变型

• 用于垂直（Z）方向的配重选项

• 可提供定制版

• 花岗岩底座板和隔振系绞�/p>