六自由度高精度并联运�

无轴间运动串扰和误差累计

低运动惯量，高结构刚�

可自由设定旋转中�

特殊设计可承�?000公斤以上负载

�?轴到6轴运�

并联运动和并联测量技�

保持记录的高**精度与重复精�

可选电容传感器**可达0.02nm闭环分辨�

定制型号可选择铟钢、钛等不同材�

�?轴到6轴的直线与旋转运�

直线电机/陶瓷电机/步进/直流伺服

独有的大行程纳米定位技�

力矩电机+气浮轴承超高精度转台

直线�?升降�?旋转�?摇摆�?多轴�?/span>

1维至2维超快可控偏摆运�

光学偏摆范围**可达120mrad

超快响应时间，超高角度定位精�

大量用于光学追踪、扫描、稳像等应用

可根据用户的不同需求进行定刵�/span>

压电陶瓷电机/直线电机/步进/直流伺服

PiezoWalk技术提供毫米级运动行程和亚纳米级分辨率，大推力，可自锁

PiezoWalk系列超小尺寸高速运�

可根据不同推力、行程、速度和精度要求进行定�

单系�?轴到6轴，以及多轴串接

模拟和数字多种内部结构可�

RS232，USB，TCP/IP等多种计算机接口

先进的低噪声驱动和高级控制算�

提供控制界面和二次开发包，支持LabView� C++� VC� VB� Delphi� Matlab�

单通道及多通道系统

微步控制/混合控制/实时差补/并行控制

RS232，USB，TCP/IP，CAN等多种接�

多通道系统多种控制网络方式可�

提供控制界面和二次开发包，支持LabView� C++� VC� VB� Delphi� Matlab筈�/span>

位置、运动、振动的非接触测�

量程�?0微米�?000微米

皮米级位移分辨率�?0KHz的带�

耐高温，长时间稳定性（<0.1nm/3h�

无磁及真空环境兼宸�/span>