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深圳市美格真空科技有限公司
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产品简今/div>
标题9/strong>
美格氧化亚硅半连续真空烧结炉 卧式半连续气相沉积真空炉
技术参数:
装料罐尺 50*50*1200,装料量0.24M3 ,工作温?400℃,极限温度1550℃,温差控制精度3℃,真空?.5-2.5pa,气氛类别:Ar/N2,总功?70KW,工序时?4H/炉、/p>
工艺特点9/strong>
适用于动力电池负极材料(氧化亚硅制备、硅氧负极材料预镁化气相沉积中试)大批量生产用;温差控制精度高,高温高真空;气相沉积等工艺能力。生产效率高,全程全封闭全自动化作业,生产能耗低,性能稳定,主要元器件皆为进口大品牌,是目前业界真空气相沉积、氧化亚硅制?硅氧负极预镁化气相沉积工艺优秀的解决方案、/p>
关键词:
气相沉积制粉真空 氧化亚硅真空 氧化亚硅混炼真空 氧化亚硅气相沉积制粉 氧化亚硅提纯、气相预镁?/p>
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