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深圳市美格真空科技有限公司
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产品简今/div>
1．产品名称：小型氧化亚硅气象沉积真空炈/p>
2．应用领域：动力电池负极材料（氧化亚硅等可气相沉积材料）
3.工艺描述：三温区设计，合金内胆，温差控制精度3℃，高温高真空，具备脱水，混炼反应，提纯等工艺，反应充分，成品率高（?0%-80%（/p>
型号 |
装料尺寸 |
装载野/span> |
工作温度 |
极限温度 |
真空?/span> |
总功玆/span> |
气氛类别 |
工序时长 |
MGB15-85HH |
Φ150 * 850 |
0.12M3 |
1350°C |
1600ℂ/span> |
0.1* 0.5pa |
35KW |
Ar/N2 |
16H/炈/span> |
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