AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高，配?英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察・分析、/span>
高度集成自动化功能追求高效率检浊/p>
降低检测中的人为操作误?/p>
大范围水平扫揎/p>
采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果、br/>AFM5500M搭载?*研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试、/p>
高精角度测量
普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因、br/>AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像、/p>
通过SEM－AFM的共享坐标样品台，可实现在同一视野快速的观察・分析样品的表面形貌，结构，成分，物理特性等、/p>
通过分析AFM图像可以判断，SEM对比度表征石墨烯层的厚薄、/p>
石墨烯层数不同导致表面电位（功函数）的反差、/p>
SEM图像对比度不同，可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因、/p>
| 马达?/th> | 自动精密马达?br/>**观察范围?00 mm ?英寸）全埞br/>马达台移动范围：XY ± 50 mm、Z ?1 mm *小步距：XY 2 µm、Z 0.04 µm |
|---|---|
| **样品尺寸 | 直径?00 mm?英寸）、厚度：20 mm 样品重量? kg |
| 扫描范围 | 200 µm x 200 µm x 15 µm （XY：闭环控 / Z：感应器监控（/td> |
| RMS噪音水平* | 0.04 nm 以下（高分辨率模式） |
| 复位精度* | XY: ?5 nm(3σ、计?0 μm的标准间? / Z: ? nm (3σ、计?00 nm 的标准深? |
| XY直角?/th> | ±0.5° |
| BOW* | 2 nm/50 µm 以下 |
| 检测方弎/th> | 激光检测（低干涉光学系统） |
| 光学显微镛/th> | 放大倍率：x1 x7 视野范围?10 µm x 650 µm 130 µm x 90 µm 显示倍率：x465 x3,255?7英寸显示器） |
| 减震?/th> | 台式主动减震 500 mm（W x 600 mm （D x 84 mm （H）、约28 kg |
| 防音?/th> | 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H) 237 kg |
| 大小・重野/th> | 400 mm（W x 526 mm（D x 550 mm（H）、约 90 kg |
* 参数与设备配置及放置环境相关、/p>
| OS | Windows7 |
|---|---|
| RealTune®II | 自动调节悬臂振幅、接触力、扫描速率以及信号反馈 |
| 操作画面 | 操作导航功能、多窗口显示功能（测?分析）?D图像叠加功能、扫描范?测量履历显示功能、数据批处理分析功能、探针评估功胼/td> |
| X, Y, Z扫描驱动电压 | 0?50 V |
| 时时测试（像素点（/th> | 4画面?*2,048 x 2,048（br/>2画面?*4,096 x 4,096（/td> |
| 长方形扫揎/th> | 2:1?:1?:1?6:1?2:1?4:1?28:1?56:1?12:1?,024:1 |
| 分析软件 | 3D显示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分枏/td> |
| 自动控制功能 | 自动更换悬臂、自动激光对?/td> |
| 大小・重野/th> | 340 mm（W x 503 mm（D x 550 mm（H）、约 34 kg |
| 电源 | AC100 240 V ±10% 交流 |
| 测试模式 | 标配：AFM、DFM、PM（相位）、FFM 选配：SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM |
* WINDOWS 是、美 Microsoft Corporation 在美国及美国以外国家注册商标、/p>
* RealTune是日立高新科学公司在日本、美国以及欧洲的注册商标、/p>
| 可适用的日立SEM型号 | SU8240、SU8230（H36 mm型）、SU8220（H29 mm型） |
|---|---|
| 样品台大導/th> | 41 mm（W x 28 mm（D x 16 mm （H（/td> |
| **样品尺寸 | Φ20 mm x 7 mm |
| 对中精度 | ±10 µm （AFM对中精度（/td> |
