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首页 > 产品中心 > 热分析仪 > 德国耐驰纳秒级热反射法薄膜导热仪NanoTR
产品简今/div>
型号: NanoTR / PicoTR
品牌: NETZSCH(耐驰)
产地: 德国
产品别名: 皮秒级热反射法薄膜导热仪PicoTR
脉冲激光热反射法薄膜导热仪
检测方泔 热反射法

产品介绍

测量原理

热反射(Thermo-Reflectance)方法基于超高速激光闪射系统,可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数,如热扩散系数(Thermal Diffusivity)、热导率(Thermal Conductivity)、吸 系数(Thermal Effusivity)和界面热阻、/p>

由于激光闪射时间仅为纳秒(ns)量级,甚至可达到皮秒(ps)量级,此系统可测量厚度低至10nm的薄膜。同时,系统提供不同的测量模式,以适应于不同的基片情况(透明/不透明)、/p>

该方法符合国际标准:
JIS R 1689:通过脉冲激光热反射方法测量精细陶瓷薄膜的热扩散系数:br/>JIS R 1690:陶瓷薄膜和金属薄膜界面热阻的测量方法、br/>

发展简叱/h2>
  • 1990 年,日本产业技术综合研究所/日本国家计量院(AIST/NMIJ)发明热反射法,测量薄膜导热性能、/p>

  • 2008 年,AIST 设立 PicoTherm 公司、/p>

  • 2010 年,PicoTherm 公司推出纳秒级热反射系统 NanoTR、/p>

  • 2012 年,PicoTherm 公司推出皮秒级热反射系统 PicoTR、/p>

  • 2014 年,PicoTherm 公司 NETZSCH 公司建立战略合作。NETZSCH 将负 PicoTherm 产品在全球的销售和服务、/p>

测量模式

RF 测量模式 FF 测量模式
主激光源从反面加热薄膜,检测激光从正面测量薄膜的温度升高过程,从而计算薄膜的导热性能参数。此模式适用于透明基片、/td> 主激光源从正面加热薄膜,检测激光从正面测量薄膜的温度下降过程,从而计算薄膜的导热性能参数。此模式适用于不透明基片、/td>

NanoTR / PicoTR - 技术参?/h2>
技术参?/td> NanoTR PicoTR
温度范围 RT,RT 300°C(选件(/td> RT,RT 500°C(选件(/td>
真空?/td> N/A 10-6mbar(选件(/td>
测量模式 RF/FF RF/FF
样品尺寸 10x10 ... 20x20 mm 10x10 ... 20x20 mm
薄膜厚度 RF9br/>金属? ... 20µm
陶瓷?00nm ... 5µm
聚合物:30nm ... 2µm
FF?gt; 1µm
RF9br/>金属?00nm ... 900nm
陶瓷?0nm ... 300nm
聚合物:10nm ... 100nm
FF?gt; 100nm
基片厚度 < 1mm < 1mm
热扩散温升时闳/td> 10ns ... 10µs 10ps ... 10ns
热扩散系?/td> 0.01?000 mm2/s 0.01?000 mm2/s
测量精度 5%(RF), 10%(FF) 5%(RF), 10%(FF)
操作系统 Windows 7 Windows 7

NanoTR / PicoTR - 应用实例

TaOx_5p 薄膜

RF 模式下,不同厚度 TaOx_5p?%氧化物)薄膜的测量曲线。可见即使薄膜厚度低 10nm,仍然可以得到良好的信噪比。且不同厚度的薄膜得到的面热扩散时间数据符合线性关系、/p>

不同厚度 TaOx_5p 薄膜样品的原始温升信号对毓/p>

面热扩散时间 vs. 样品厚度关系国/p>


金属钼薄膛/h4>

以下两图分别使用 RF FF 模式,对石英基片上的 90nm 厚的 Mo 薄膜进行了测试。两者的测试结果完全一致,平均值为 16.0 mm2/s、/p>

RF 模式测量结果


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