主要特点９�/span>

设备特点９�/span>

1、全自动兼容8inch�?2inch片生产，带条码自动扫描系绞�/span>

2、配合特殊剥离涂层，有效减少材料损伤，良品率髗�/span>

3、采用先进的光斑整形技术，光斑均匀分布

4、拥有光斑质量监控与反馈系统，保证光斑的稳定�?/span>

5、携带激光加工能量监控与自动补偿系统，保证能量的稳定�?/span>

主要参数:

主要参数	加工尺寸	8inch�?2inch
	加工速度	1000mm/s
	加工精度	±1μm
	平台参数	行程300mm×300mm 重复定位精度±0.001mm
	激光器参数	紫外
	稼动玆�/td>	>0.98
	重大故障间隙时间	�?000H
	良率	�?9.5%

加工效果９�/span>