主要特点９�/span>

1、成像质野�使用***的相机技术以实现超快速度且极小像差的扫描

2、量测集成包：大族激光是**家使用量测集成包的公司，能够以一种简单方便的方式创建一个快速的量测方案

3、光学系绞�使用自主先进的大视野显微镜，配有高级照明系统和即时聚焦技�?/span>

4、缺陷查找：使用先进的智能缺陷算法以克服制程工艺带来的变弁�/span>

5、直线高精电机，XYZ平台, 100纳米分辨玆�/span>

6、机械结�?00纳米精度

7、洁净化设� (运动平台在晶圆下�?

8、浮式基座平台减小设备震动影哌�/span>

主要参数:

加工效果９�/span>