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实验室家其/a>
制冷设备
制样/消解设备
电化学仪?/a>
色谱?/a>
AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高,配夆/span>4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换,激光对中,测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且,通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析、/span>
特点
1.自动化功胼/span>
高度集成自动化功能追求高效率检浊/span>
降低检测中的人为操作误?/span>?
4英寸自动马达?/span>
自动更换悬臂功能
2.可靠?/span>
排除机械原因造成的误?/span>
大范围水平扫揎/span>
采用管型扫描器的原子力显微镜,针对扫描器圆弧运动所产生的曲面,通常通过软件校正方式获得平面数据。但是,用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响,图片上经常发生扭曲效果、/span>AFM5500M搭载?*研发的水平扫描器,可实现不受圆弧运动影响的准确测试、/span>
样品:硅片上的非晶硅薄膜
高精角度测量
普通的原子力显微镜所采用的扫描器,在竖直伸缩的时候,会发生弯曲(crosstalk)。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因、/span>AFM5500M中搭载的全新扫描器,在竖直方向上不会发生弯曲'/span>crosstalk ,可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像、/span>
样品:太阳能电江/span>(由于其晶体取向具有对称结枃/span>)
*使用AFM5100N(开环控制)
3.融合?/span>
亲密融合其他检测分析方弎/span>
通过SEM,/span>AFM的共享坐标样品台,可实现在同一视野快速的观察分析样品的表面形貌,结构,成分,物理特性等、/span>
SEM-AFM在同一视野观察实例(样品:石墨?/span>/SiO2(/span>
上图?/span>AFM5500M拍摄的形貌像'/span>AFM像)和电位像'/span>KFM像)分别咋/span>SEM图像叠加的应用数据、/span>
通过分析AFM图像可以判断+/span>SEM对比度表征石墨烯层的厚薄
石墨烯层数不同导致表面电位(功函数)的反差、/span>
SEM图像对比度不同,可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因
与其他显微镜以及分析仪器联用正在不断开发中、/span>
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