PCE-6V小型等离子清洗机集成亅/span>RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术，采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵，清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，可短时间内彻底清洗掉有机污染物，清洗程度可达到分子级。另外，其样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。此外，其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能、/span>
主要特点
1?/span>采用气体作为清洗介质，避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污柒/span>、/span>
2?/span>可短时间内彻底清洗掉有机污染?/span>、/span>
3?/span>清洗程度可达到分子级、/span>
4?/span>可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能、/span>
5、清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌、/span>
6?/span>样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻、/span>
7、广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域、/span>
技术参?/span>
1?/span>电压９/span>AC220V 10A
2、消耗功率：<500W（包括真空泵（/span>
3?/span>RF电源：输出功玆/span>100W，输出频玆/span>13.56MHz
4、腔体：190mm98mm
5、石英管９/span>180mm55mm，壁厙/span>7mm
6、内腔：165mm55mm
7、清洗电极：120mm
8、样品台９/span>150mm，有效尺寷/span>140mm
9、样品台与电极间距：15mm-50mm可调
10、抽气管９/span>12mm
11、极限真空度９/span>0.1Pa
12、工作真空度９/span>60Pa-500Pa
13、气路数量：2路（选装（/span>
14、流量控制器数量９/span>1?/span>2
15、流量显示仪９/span>2通道
16、气路接口：6mm
17、加热样品台９/span>140mm，加热样品温?/span>RT-600?#177;1℃（选装（/span>
18、冷却水压力９/span>0.2KPa-0.4KPa
19、工作环境：温度5ℂ/span>-35℃，湿度<80%（相对湿度）不结露，海拔高度0-2000m
产品规格
尺寸９/span>245mm235mm460mm（不含真空泵（/span>
重量９/span>20kg（不含真空泵（/span>
可选配仵/span>
1、加热样品台
2、流量控制器（量稊/span>10?/span>50?/span>100?多可增加2个通道（/span>
