PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机，等离子腔体为��8.5 "��12"的石英腔体，采用的射频电源功玆�/span>0 - 100W连续可调节。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备、�/span>

主要特点

1�?/span>采用6′�/span>彩色触摸屏，可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等、�/span>

2�?/span>内部配有0-500mm/min的质量流量计，可以精确地控制进气流量、�/span>

技术参�?/span>

1�?/span>电源９�/span>AC220V

2、射频功率：**100W，可�?/span>0-100W间调芁�/span>

3、真空泵功率９�/span><500W

4、总功率：<600W

5、射频：13.56MHz

6、等离子腔体：高纯石英腔体，外径��8.5 "，内徃�/span>��8.2 "，长12"，采用铝制折叠式法兰进行真空密封，法兰设有一�?/span>

��60mm的观察窗叢�/span>

7、极限真空度９�/span>50mtorr

8、通入气体：可通入多种气体，如N₂�?/span>Ar�?/span>Air�?/span>H₂�?/span>O₂和混合气体等等（根据材料性质所定）

清洗及蚀刺�/strong>

产品规格

尺寸９�/span>620mm��450mm��600mm

标准配件

1、直连式双旋真空泵（240L/min（�/span>

2�?/span>KF25波纹箠�/span>

3�?/span>KF25手动挡板阀

可选配仵�/span>

1�?/span>300W�?/span>600W射频电源（进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验）

2�?/span>2′�/span>-6′�/span>石英舟（盛放基片（�/span>

3�?/span>2-4通道浮子混气系统

4�?/span>2-4通道质子混气系统