OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉是一款快速蒸发管式炉，专门用亍�/span>PVD戕�/span>CSS法制作薄膜；其炉管外径为11′�/span>，炉管内载样盘可放置3�的圆形或2′�/span>��2′�/span>的方形基片；加热元件为两组红外灯管，分别安装在腔体顶端和底部，升温速率高达20�?s；温控系统采�?/span>PID30段程序化控制，控温精度为��1℃，并且仪器面板上带月�/span>RS485接口，若仪表内配有控温软件，就可将升温程序和曲线导出、�/span>

主要特点

1�?/span>为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构三�/span>、�/span>

2�?/span>紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片（��76mm��0.5mm），使得样品基片上的温度更加均匀、�/span>

3�?/span>3′�/span>的石墨坩埚可放于底部加热元件上，用于盛放蒸发斘�/span>、�/span>

4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔内真空度可辽�/span>10^-2torr，通过分子泵真空度可达10^-5torr、�/span>

5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动、�/span>

6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可以精确测量腔内真空度、�/span>

技术参�?/span>

1�?/span>电源：单盷�/span>AC208-240V（需20A的空气开关）

2、真空腔体：高纯石英管，外径280mm，内徃�/span>275mm，高229mm

3、加热元件：两组IR红外灯管，额定功玆�/span>800W，总功玆�/span>1600W

4、热电偶９�/span>S型热电偶2个，分别安装于上下法兰上

5、工作温度：两个加热区域单独工作�?*温度≣�/span>650℃，两加热区�?*温差≣�/span>350ℂ�/span>

6、加热速率９�/span>>8ℂ�/span>/s

7、冷却速率９�/span>>10ℂ�/span>/s＇�/span>600ℂ�/span>-100℃）

8、真空法兰：316不锈钢制作，配有1�?/span>KF-25接口�?/span>2�?/span>1/4′�/span>软管接头

9、真空计：数字式真空显示讠�/span>

可选配仵�/span>

1�?/span>PC控温软件

2、两路混气系绞�/span>

3、多路浮子混气系绞�/span>

4、多路质子混气系绞�/span>

5、真空泵

6、水冷机