产品简介：VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射?/strong>是一款桌面式等离子磁控溅射镀膜仪，包含一?英寸水冷靶头（另?英寸靶头可选）和可旋转样品台。水冷靶头使镀膜后的样品表面不会因镀膜温度过高而变形，甚至损坏样品；样品台可旋转，可以使样品边旋转边镀膜，使镀膜后的样品表面膜厚均匀。设备外形小巧，性价比高，是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备，可选配各种金属靶材和真空泵搭配设备使用、strong>VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射?/strong>采用PLC控制面板对设备进行控制，操作方便直观、/span>
VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射?/strong>操作视频
产品型号 |
VTC-16-SM小型高能直流磁控溅射?/strong> |
技术参?/span> |
1、输入电源：220VAC 50/60Hz 2、溅射电流：0-150 mA可调 3、功率：?KW 4、输出电压：1600VDC（max（/span> 5、溅射腔佒/strong> ??采用石英腔体，尺寸：166mm OD x 150mm ID x 290mm H ??密封：采用O形密封圈密封 6、溅射头&样品?/strong> ??二英寸带水冷的磁控溅射头（注意：水冷机不是标配）另有1英寸靶头可逈/span> ??一个直?0mm不锈钢样品台，样品台可旋转，旋转速率0-5 RPM ??安装有一可手动操作的溅射挡板 ??样品台和靶头之间的距离可以调节，调节范围?0-80mm ??靶头支架，可以在非溅射状态放置溅射靶夳/span> ??溅射面积?英寸（max（/span> 7、控制面松/strong> 6" PLC集成触摸屏控制面板，可控制真空、电流、靶材位置和基片加热温度 8、真空系绞/strong> ?）安装有KF25真空接口 ?）数字真空压力表（Pa（/span> ?）此系统运行需要Ar气，并且气瓶上安装有减压阀（设备中不包含） ?）采用机械泵 <1.0E-2 Torr ?）采用涡旋分子泵 <1.0E-5 Torr ?）可在本公司选购各种真空泴/span> 9、进氓/strong> 含一个控制进气的针阀和一个放气阀，本设备接气需要安装减压阀 10、靶杏/strong> ?）靶材尺寸要求：50mmx(0.1-2.5) mm(厚度) ?）适合溅射Au，Ag，Cu，Al，Ti，等金属（可在我公司选购（/span> |
产品规格 |
1、产品外型尺寸：（L?60 mm （W?30 mm （H?20 mm 2、净重：20 kg（不包含泵及水冷机） |
可选配仵/span> |
薄膜测厚?/span> 加热样品?/span> 浮子流量讠/span> |