产品简介：PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体丹/span>?160mm190mm的石英腔体，采用的射频电源功?.0MHz 1%），输出功率7.2W?/span>10.2W?/span>29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备、/span>
产品型号 |
PCE-6小型等离子清洗机 |
主要特点 |
1、通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间、/p> 2、时间、功率、真空度等信息显示在一练span>4位数码管上、/p> 3、设有一个三通阀，可精确控制进气流量，以及大气流清洗腔体，进气接口为6mm卡套接口、/p> 4、选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验、/p> |
技术参?/span> |
1、电源：AC220V 50/60Hz 2、输出功率：7.2W?span>10.2W?span>29.6W 3、真空泵功率９span><500W 4、总功率：<600W 5、射频频率：3.0MHz，功玆span>3档可手动调节 6、等离子腔体：高纯石英腔体，?160mm190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有?45mm皃/span>见/p> 察窗 7、真空泵９span>240L/min，直连式双旋真空泴/p> 8、极限真空度９span>50mtorr 9、通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如N2?span>Ar?span>H2?span>O2?span>Air和混合气体等（根据材料性质逈span>定） |
清洗及蚀刺/span> |
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产品规格 |
尺寸９span>400mm300mm300mm，重量：10.2kg |
可选配仵/span> |
1?span>2"-6"石英舟（盛放基片（/span> 2?span>2-4通道质子或浮子混气系绞/p> |
