产品名称

GPC-100A粽�/span>�?/span>磨抛控制�?/span>

产品型号

GPC-100A

主要特点

可严格控制被磨样品表面的平行度和平面度，控制准确度高。研磨过程中可搭配数显测厚仪使用，随时观测样品磨削量，尤其适用于表面平行度和平面度及样品厚度要求高皃�/span>晶圆样品研磨使用、�/span>

技术参�?/span>

1、载样盘直径９�/span>?103mm

2、载样盘轴向行程９�/span>12mm

3、数显表精度９�/span>0.001mm

4、载样盘可调加载压力９�/span>0.1kg-2.1kg

5、压力确认仪有效量程９�/span>1g-5000g

6�?/span>样品装卡方式：真空吸陃�/span>

7、承载样件尺寸：直径≣�/span>103mm、厚度≤12mm

产品规格

尺寸：外徃�/span>146mm，高266mm

标准配件

1、真空泵

2、过滣�/span>瓵�/span>

3、底�?/span>

4、玻璃片