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GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（如Ti、Al 、Au等）和小分子的有机物。本机设?个蒸镀加热舟，每个加热舟都可独立进行蒸镀，加热舟上方有一个可旋转挡板，当其中一个加热舟进行蒸镀时挡板将其它三个钨舟遮住，以防蒸镀材料之间相互污染。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜，可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求，是一款镀膜效果理想且性价比较高的实验设备、strong>GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪腔底部配?个水冷电极，在工作过程中可有效保护电极温度不会因温度过高而熔化，进而损坏电极。该机采用金属腔室，具有极高的真空度，真空度可达?.010-7torr，样品台可对样品进行加热，加热温度为室温-500℃，是进行高真空蒸发镀膜的**设备、/span>
产品名称 |
GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪 |
产品型号 |
GSL-1800X-ZF4 |
安装条件 |
本设备要求在海拔1000m以下，温?5?#177;15℃，湿度55%Rh10%Rh下使用、/span> 1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） 2、电：AC220V50Hz，必须有良好接地 3、工作台：落地式，占地面?m2以上、/span> 4、通风装置：需?/span> |
主要特点 |
1、真空控制单元全部集合在一个控制盒内、/span> 2、采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷、/span> 3、真空腔体设?个KF40旁抽阀（直接与前级机械泵相连，提高效率）?个CF150闸板阀（直接与分子泵相连）?个KF16法兰（安装电阻规）?个CF35法兰?个安装电离规?个安?芯电极，1个安装膜厚仪（/p> 3个备用、/span> 4、在腔体底部配有5个水冷电极，可支?个蒸镀加热舟、/span> 5、样品台安装在腔体的顶部、/span> 6、腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，膜厚测量分辨率（铝）?.1?、/span> 7、可使用循环水冷机、/span> |
技术参?/span> |
1、输入：单相AC220V?0Hz/60Hz，功玆2.16KW（不含真空泵（/span> 2、蒸发输出：电压AC 0-8V连续可调，极限蒸发电?00A，极限蒸发功玆1.6KW 3、真空腔?300mm（内径）400mm，不锈钢，内壁经电抛光处琅/span> 4、观察窗?100mm，采用专用密封圈密封 5、真空泵：高抽速涡轮分子泵，抽?00L/s 6、真空度?.0x10-4Pa 7、极限真?.0x10-5Pa 8、漏率：6.710-8PaL/S 9、样品台?#966;120 10、蒸发舟与样品台间距?50-210mm 11、冷却水需量：15L/min |
产品规格 |
尺寸?00mm1100mm1800mm；重量：230kg |
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