产品简介：OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉是一款快速蒸发管式炉，专门用亍/span>PVD戕/span>CSS法制作薄膜；其炉管外径为11′/span>，炉管内载样盘可放置3′/span>的圆形或2′/span>2′/span>的方形基片；加热元件为两组红外灯管，分别安装在腔体顶端和底部，升温速率高达20ℂ/span>/s；温控系统采?/span>PID30段程序化控制，控温精度为1ℂ/span>，并且仪器面板上带有RS485接口，若仪表内配有控温软件，就可将升温程序和曲线导出、/span>
产品型号 |
OTF-1200X-RTP-II近距离蒸发镀膜（CSS）炉 |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温?5?#177;15℃，湿度55%Rh10%Rh下使用、/span> 1、水：设备需选配自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） 2、电：AC220V 50Hz＇span>20A空气开关），必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯?9.99%以上），需自备氩气气瓶（自?6mm双卡套接头） 4、工作台：设备为落地式，占地面积1m2以上 5、通风装置：需?/span> |
主要特点 |
1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上、/p> 2、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片（?76mm0.5mm），使得样品基片上的温度更加均匀、/span> 3?span>3′/span>的石墨坩埚可放于底部加热元件上，用于盛放蒸发料、/p> 4?span>真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔内真空度可?0-2torr，通过分子泵真空度可达10-5torr、/p> 5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动、/p> 6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可以精确测量腔内真空度、/p> |
技术参?/span> |
1、电源：单相AC208V-240V（需20A的空气开关） 2、真空腔体：高纯石英管，外径280mm，内徃span>275mm，高229mm 3、加热元件：两组IR红外灯管，额定功玆span>800W，总功玆span>1600W 4、热电偶９span>S型热电偶2个，分别安装于上下法兰上 5、工作温度：两个加热区域单独工作?*温度≣span>650℃，两加热区?*温差≣span>350ℂ/p> 6、加热速率９span>>8ℂspan>/s 7、冷却速率９span>>10ℂspan>/s＇span>600ℂspan>-100℃） 8、真空法兰：316不锈钢制作，配有1?span>KF-25接口?span>2?span>1/4′/span>软管接头 9、真空计：数字式真空显示讠/p> |
可选配仵/span> |
1?span>PC控温软件 2、两路混气系绞/p> 3、多路浮子混气系绞/p> 4、多路质子混气系绞/p> 5?span>真空泴/span> 6、水冷机 |
