产品简今GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子溅射仪，可进行金、铂、铟、银等多种金属的溅射镀膜，样品直径可达50mm＋/span>镀膜厚度可辽/span>300?，特别适用亍/span>SEM样品的镀膜、/span>
产品型号 |
GSL-1100X-SPC-16单靶等离子溅射仪 |
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| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温?5?#177;15℃，湿度55%Rh10%Rh下使用、/span> 1、水：不需?/span> 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯?9.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀（/span> 4、工作台：尺?00mm600mm700mm，承?0kg以上 5、通风装置：不需?/span> |
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主要特点 |
1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态、/p> 2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得**镀膜效枛/span>、/span> 3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象、/p> 4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用、/p> 5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净、/p> 6、已通过CE认证、/p> |
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技术参?/span> |
1、电源：220V 2、总功率：<2000W（包括真空泵（/span> 3、真空室９span>?160mm120mm 4、样品台９span>?50mm，且高度可调，可同时进行8?span>SEM样品的镀膛/p> 5?*均匀镀膜：?45mm |
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产品规格 |
尺寸９span>400mm300mm400mm；重量：30kg |
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标准配件 |
1 |
金靶杏/p> |
1?/p> |
2 |
进气针阀 |
1?/p> |
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3 |
保险东/p> |
2?/p> |
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可选配仵/span> |
金、铟、银、铂等各种靶杏/p> |
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