产品简介：GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪?/span>依据二极＇/span>DC（/span>直流溅射原理设计而成?简单、可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶，旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。因此，适用于实验室各种复合膜样品的制备，以及非导体材料实验电极的制作、/span>
产品型号 |
GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪 |
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| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温?5?#177;15℃，湿度55%Rh10%Rh下使用、/span> 1、水：不需?/span> 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯?9.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀（/span> 4、工作台：尺?00mm600mm00mm，承?0kg以上 5、通风装置：不需?/span> |
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主要特点 |
1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态、/p> 2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得**镀膜效果、/p> 3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象、/p> 4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用、/p> 5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净、/p> 6、已通过CE认证、/p> |
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技术参?/span> |
1、靶９span>?45mm 2、真空室９span>?160mm120mm 3?*真空度：≣span>410-2mbar 4、靶位：3?/p> 5?*电流９span>50mA 6、可设定*长时间：900s 7、微型真空气阀：连?span>?3mm软管 8?*电压９span>1600V DC 9、机械泵９span>2L/s |
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标准配件 |
1 |
金靶杏/p> |
1?/p> |
2 |
铜靶杏/p> |
1?/p> |
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3 |
铝靶杏/p> |
1?/p> |
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4 |
进气针阀 |
1?/p> |
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5 |
保险东/p> |
2?/p> |
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可选配仵/span> |
金、铟、银、铂等各种靶杏/p> |
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