产品型号

GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪

本设备要求在海拔1000m以下，温�?5�?#177;15℃，湿度55%Rh��10%Rh下使用、�/span>

1、水：设夆�span>需选配自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯�?9.99%以上），需自备氩气气瓶（带减压阀（�/span>

4、工作台：尺�?00mm��600mm��700mm，承�?0kg以上

5、通风装置：不需�?/span>

主要特点

1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态、�/p>

2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得**镀膜效果、�/p>

3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象、�/p>

4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用、�/p>

5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净、�/p>

6、溅射头采用Peltier制冷技术，可得到高性能、精细颗粒的涂层、�/p>

7、可用水冷溅射头、水冷载物台、�/p>

技术参�?/span>

1、靶９�span>?50mm

2、真空室９�span>?160mm��120mm

3�?*真空度：≣�span>4��10^-2mbar

4�?*电流９�span>50mA＇�span>100mA（�/p>

5、可设定*长时间：9999s

6、微型真空气阀：连�?span>?3mm软管

7�?*电压９�span>1600V DC

8、机械泵９�span>2L/s

产品规格

尺寸９�span>360mm��300mm��380mm

标准配件

1

金靶杏�/p>

1�?/p>

2

进气针阀

1�?/p>

3

保险东�/p>

2�?/p>

可选配仵�/span>

金、铟、银、铂等各种靶杏�/p>