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产品详情
GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪
产品简今/div>

产品简介:GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪专门为在基底上镀金属膜(如金、铂、铟、银等)而设计,**放置样品尺寸直径丹/span>40mm,膜厚可辽/span>300?,特别适用于为SEM样品镀金而作为导电极、/span>

GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪操作视频

产品型号

GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温?5?#177;15℃,湿度55%Rh10%Rh下使用、/span>

1、水:不需?/span>

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯?9.99%以上)清洗,需自备氩气气瓶

4、工作台:尺?00mm600mm700mm,承里span>50kg以上

5、通风装置:需?/span>

主要特点

1、可以调节电流大小,可设置溅射时间、/p>

2、已经过CE认证、/p>

技术参?/span>

1、输入电源:208V-240V 50Hz/60Hz

2、样品台9span>?60mm,高度可调节

3、石英腔体:?100mm130mm

4、进气口:内部装有阀门,可以向腔体内通入各种气体

5、靶材:纯度丹span>4N的金靶,?57mm0.12mm

产品规格

 尺寸9span>480mm320mm150mm;重量:20kg

可选配仵/span>

1?span>Au'span>?57mm0.12mm+span>4N(/p>

2?span>Pt'span>?57mm0.12mm+span>4N(/p>

3?span>Ag'span>?57mm0.5mm?N(/p>

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