产品简介：VTC-16-3HD3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪（直流普通型），控制面板采用触摸屏模式，基片**尺寸2′/span>，放置样品的直径丹/span>?50mm，加热温度达500℃。本机可溅射金、银、铜三种靶材，并采用旋转式样品台，能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜、/span>
产品型号 |
VTC-16-3HD 3靶等离子溅射?/p> |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温?5?#177;15℃，湿度55%Rh10%Rh下使用、/span> 1、水：不需?/span> 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯?9.99%以上）清洗，需自备氩气气瓶 4、工作台：尺?00mm600mm700mm，承里span>50kg以上 5、通风装置：需?/span> |
主要特点 |
1?span>PLC控制面板＋span>4.3′/span>触摸屏，PID控温方式、/p> 2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度、/p> 3、可与真空泵、不锈钢波纹箠span>KFD25快速卸装卡箍连用、/p> 4、已通过CE认证、/p> |
技术参?/span> |
1、输入功率：110V/220V通用2000W（含真空泵） 2、输出功率：1600VDC 50mA?*电流（/p> 3、石英罩９span>?160mm120mm 4、样品台９span>?50mm（可选购加热型样品台?*温度可到500℃；*长溅射时间不可超迆span>5min（/p> 5、真空泵９span>120L/M旋片式真空泵 6、进气口：装有精密可调针阀，以实现方便的调节进气量 7、靶材：尺寸直径?47mm，厚?span>0.1mm-3mm；可溅射Au?span>Ag?span>Pt?span>Cr?span>Ni，不可溅射氧化物、半导体、一些轻 金属?span>Al?span>Zn?span>C筈/p> |
产品规格 |
尺寸９span>360mm350mm3600mm；重量：50kg |
可选配仵/span> |
1?span>KF25真空接口、卡箌/p> 2、不锈钢波纹管（600mm（/p> 3、旋片式真空泵（120L/M（/p> 4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材 5、加热型样品?/p> |