产品型号

GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪

主要特点

1�?/span>已通过CE认证、�/span>

2�?/span>采用石英腔体，易于清洁和样品的放�?/span>、�/span>

3�?/span>样品台可旋转，能够使所制薄膜达到更好的均匀�?/span>、�/span>

4�?/span>釆�/span>�?/span>钨丝作为发热源，**温度可达�?/span>1700℃，并配有专用的氧化铝舟装载样品（仅1600oC以下使用，若蒷�/span>发温度大亍�/span>1600oC，样品应直接放在钨丝篮中（�/span>、�/span>

5�?/span>热电偶安装在坩埚底部，以便于温度测量和控刵�/span>、�/span>

6、可将设备转换到手动调节状态，内部不安装热电偶，直接采用手动调节输出电流大小，发热源温度可辽�/span>2000oC，可达到对样品镀碳等实验要求、�/span>

7�?/span>可向真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜、�/span>

8�?/span>进气叢�/span>配有针阀，用于调节进气流量、�/span>

技术参�?/span>

1�?/span>电压９�/span>AC 208V-220V 50Hz/60Hz 单相

2�?/span>**功率９�/span>500W�?*电流丹�/span>30A

3�?/span>真空腔体９�/span>石英腔体，直徃�/span>?6"

4�?/span>样品台：直径?50mm；可旋转，转�?rpm；与蒸发源间距可调，调节范围60mm-100mm

5�?*温度９�/span>1700oC

6、热电偶９�/span>S型热偶，工作温度200oC-1500oC（可选用B型热偶，工作温度1200oC-1700oC（�/span>

7、控温精度：��1oC，数显温度控制器＋�/span>可设�?0段升降温程序

8、钨丝篮９�/span>2�?/span>

9、真空接口：KF40

10、真空计：数显防腐真空计PCG554，测量范図�/span>3.8��10^-5-1125torr

11、进气接口：1/4NPS

产品规格

尺寸９�/span>440mm��330mm��630mm

可选配仵�/span>

1、机械泵（带油污过滤器）（真空度<10^-2torr，可以蒸发贵金属，如Au�?/span>Ag（�/span>

2�?/span>分子泴�/span>（可获得高真空，真空�?span><10^-5torr，蒸发易氧化材料，如Al�?/span>Mg�?/span>Li等）

3、低真空系统

4�?/span>高真空系绞�/span>

5�?/span>等离子清洗机（镀膜前对基片进行清洗，可获得更好的薄膜强度（�/p>