产品型号

GSL-CKJS-450-B1磁控溅射

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温�?/span>25ℂ�/span>��15ℂ�/span>，湿�?5%Rh��10%Rh下使用、�/span>

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电９�/span>AC380V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注�?span>/氩气（纯�?9.99%以上），需自备实验气体气瓶（自�?10mm双卡套接头）及减压阀

4�?/span>场地９�/span>设备尺寸3500��1600mm，承里�/span>1000kg以上

5、通风装置：需�?/span>

主要特点

1�?/span>真空度高、�/span>

2、可制备多种薄膜＋�/span>金属、半导体、绝缘体等，应用广泛、�/span>

3、体积小，操作简便、�/span>

4、清理安装便捷、�/span>

5�?/span>控制可逈�/span>一体化触摸屏控刵�/span>

技术参�?/span>

1�?/span>主溅射室尺寸９�/span>?450��355mm筒形真空宣�/span>

2�?/span>主溅射室真空�?/span>９�/span>5��10-5Pa

3�?/span>永磁靵�/span>3套，靶材尺寸��2′�/span>，各靶射频与直流溅射兼容（其�?/span>1个靶可溅射铁磁材斘�/span>），靶与样品距离90-110mm可调

4、三靶共溅，三个靶可共同折向样品中心，距�?0-80mm可调

5、基片加热与水冷独立工作，加热炉可与水冷样品台可互换，加热工�?*温度600�?#177;1ℂ�/span>

6�?/span>样品尺寸�?#966;1′�/span>

7�?/span>样品台可连续回转，转逞�/span>5-15�?刅�/span>

8�?/span>基片可加-200V负偏厊�/span>

9�?/span>公转6工位样品台，可一次性安裄�/span>6牆�/span>��1′�/span>基片，拆下水冷加热样品台可换�?工位样品台，其中5个工位为自然冷却工位�?个加热工位，加热工位温度600�?#177;1ℂ�/span>

产品规格

整机尺寸９�/span>1500��900mm��2000mm：�/span>

标准配件

1

电源控制系统

1奖�/span>

2

真空获得系统

1奖�/span>

3

真空测量装置

1奖�/span>