产品型号

GSL-CKJS-560-B2磁控溅射

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温�?/span>25ℂ�/span>��15ℂ�/span>，湿�?5%Rh��10%Rh下使用、�/span>

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电９�/span>AC380V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注�?span>/氩气（纯�?9.99%以上），需自备�?span>/氩气气瓶（自�?10mm双卡套接头）及减压阀

4�?/span>场地９�/span>设备尺寸3500��1600mm，承里�/span>1000kg以上

5、通风装置：需�?/span>

主要特点

1�?/span>真空度高、�/span>

2、可制备多种薄膜＋�/span>金属、半导体、绝缘体等，应用广泛、�/span>

3、体积小，操作简便、�/span>

4、清理安装便捷、�/span>

5�?/span>控制可逈�/span>一体化触摸屏控刵�/span>

技术参�?/span>

1�?/span>主溅射室尺寸９�/span>?560��355mm梨形真空宣�/span>

2�?/span>主溅射室真空�?/span>９�/span>5��10-6Pa

3�?/span>进样室尺寷�?255��430mm

4�?/span>进样室真空度９�/span>5��10-4Pa

5�?/span>永磁靵�/span>5套，靶材尺寸��2′�/span>，各靶射频与直流溅射兼容（其�?/span>1个靶可溅射铁磁材斘�/span>（�/span>

6�?/span>公转样品�?/span>6个工位，5个水冷工位，1个加热工位，加热工位**温度600�?#177;1ℂ�/span>

7�?/span>样品尺寸�?#966;1′�/span>，可放置6牆�/span>

8�?/span>基片可加-200V负偏厊�/span>

9�?/span>进样室可一次性安裄�/span>6片样品，可对被镀样品进行退火处理，退火温�?/span>800�?#177;1ℂ�/span>

10�?/span>进样室可对基片进行反溅清洖�/span>

11�?/span>进样室和主溅射室之间通过磁力样品机构进行样品传逑�/span>

产品规格

整机尺寸９�/span>2700��900mm��2000mm：�/span>

标准配件

1

电源控制系统

1奖�/span>

2

真空获得系统

1奖�/span>

3

真空测量装置

1奖�/span>