产品型号

100W小型手动匹配型射频电溏�/span>RF-100-LD

技术参�?/span>

1�?/span>电源：AC 110V-240V 50Hz/60Hz

2�?/span>输入功率９�/span>5W-100W（可调），稳定�?#177;1%

3�?/span>射频频率�?3.56MHz，稳定�?#177;0.005%

4、匹配：手动匹配

5、冷却：风冷

6、噪音：<50dB

产品规格

尺寸�?90mm��260mm��105mm

可选配仵�/span>

1�?/span>1"高真空磁控溅射头，可自行搭建RF戕�/span>DC溅射镀膜仪、�/span>

2、同时购�?/span>100W射频发射器和1"磁控溅射头时，本司赠�?个高真空快速接头。接头内徃�/span>�?.75"，可将溅尃�/span>

　头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1"，真空腔体的壁厚不得大于1"、�/span>

3、循环水冷机，流量为16L/min，水箱容积为6L、�/span>