产品型号

2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2

主要特点

1、采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作、�/span>

2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体，以得到较高的磁场强度和均匀分布、�/span>

3、磁体表面涂有保护层，以防止冷却水的腐蚀，延长其使用寿命、�/span>

4、标准的HN型接头，可与DC咋�/span>RF电源相匹配、�/span>

5、安装采用标准真空接头，便于操作、�/span>

6、靶材更换较为简单，无需调整溅射头的高度、�/span>

技术参�?/span>

1�?/span>阳极护罩直径９�/span>?3.5"

2�?/span>所用靶材：直径2"�?0.8mm），非磁性靶**厚度1/4"，磁性靶**厚度1/16"

3�?/span>磁铁：NdFeB稀土永磁体

4、靶材利用率９�/span>30%

5、所需功率９�/span>DC**1000W＋�/span>RF**500W

6、溅射电流：**3A

7、溅射电压：100V-1000V

8、溅射时腔体真空度：5mtorr-100mtorr

9、溅射均匀性曲线：

10、水冷却：水管外徃�/span>0.25"，流�?.8GPM，进水温�?/span><20�

产品规格

可选配仵�/span>

1、循环水冷机，流量为16L/min，水箱容积为6L、�/span>

2、同时购�?/span>300W射频发射器和2"磁控溅射头时，本司赠�?个高真空快速接头。接头内徃�/span>�?.75"，可将溅尃�/span>

　头安装在真空腔体上，真空腔体上的安装孔直径为1"，真空腔体的壁厚不得大于1"、�/span>