沈阳科晶自动化设备有限公号/div>
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产品详情
靶头
产品简今/div>

产品简介:本公司所?/span>靵/span>头适用靶材种类较广,如金属/绝缘靶或磁?/span>/非磁性靶材。配装有环形永磁体在靵/span>头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可不/span>DC戕/span>RF电源配合使用、/p>

靶头种类

直、折靵/p>

方靶

自转转靶

公、自转转靵/p>

多弧溅射弧源

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