产品型号

小型粉末PVD包覆系统VTC-16PW

产品特点

1�?/span>可对粉体材料进行表面包覆：采用磁控溅射，溅射时粉体材料在振动样品台上翻滚，达到粉体表面均匀包覆

2�?/span>设备小巧可在手套箱内使用，可处理样敏感性材斘�/span>

技术参�?/span>

1、输入电压：220 VAC 50/60Hz

2、电源输凹�1600 VDC 250 W

3�?*电流�?50 mA .

4、溅射头�?英寸角度可调节溅射头

5、振动样品台９�/span>

样品台振动频率可调节�?-33Hz

样品台直径为50mm

建议样品野� < 500 mg

建议颗粒尺寸: 1 ~ 1000um

石英腔体尺寸�?65 mm OD. X 150 mm ID x 250 mm H

6、真空度９�/span>

�?.0E-2 Torr（采用机械泵），可溅射Au� Ag� Pt� Cu� Mo等靶

� 1.0E-5 Torr（采用分子泵），可溅射Al� Mg� Li� Lr� Ti� Zn等易氧化金属�?*真空度可达到< 4.0E-6 Torr（分子泵系统抽时�?2小时，腔体进行烘烤）

7、CE认证

产品规格

外形尺寸：长460���?30���?10mm 净重：20Kg

注意事项

警告９�/span>

1、溅射头与高压电源相连接，操作时必须佩带防护手套

2、溅射前必须确保靶材，溅射头，基片和样品台清洁，需要用砂纸和乙醇来清洗，Al或是Ni靶每次使用时都必须清洗和处理

注意：粉末样品必须干燥和分散