产品简介：EQ-TM106膜厚监测?/strong>是采用石英晶体振荡原琅/span>，结吇span>先进的频率测量技?/span>＋span>进行膜厚的在线监测。主?/span>库span>用于MBE?span>OLED热蒸发、磁控溅射等设备皃span>薄膜制备过程?/span>，用于对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。EQ-TM106膜厚监测?/strong>根据制备薄膜皃span>实时速率可以输出PWM（脉冲宽度调制）模拟量，作为膜厚传感器使用，与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制，从而检测所制备薄膜的厚?span>、/span>EQ-TM106膜厚监测?/strong>体积小巧可节省实验室空间，原理简单，操作方便，尤其适合于实验室中薄膜制备过程的使用
产品名称 |
EQ-TM106膜厚监测?/strong> |
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产品型号 |
EQ-TM106 |
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主要特点 |
1、本朹span>可与计算机连?/span>、/span> 2?/span>显示?/span>具有界面简?span>、直观、合理、操作方便快捷等优点，可直观显示所测的膜厚、速率、频率?/span>PWM控制输出的百分比等工作状?/span>、/span> 3?/span>通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置，并可将所测相关数据写?/span>Excel文件、/span> 4?/span>具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点、/span> |
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技术参?/span> |
EQ-TM106-1监测组件 1、电源：DC 5V?#177;10%（/span>＋span>**电流400mA 2、频率分辨率９/span>0.03Hz 3、膜厚分辨率９/span>0.0136?＇span>铜/span>（/span> 4、膜厚准确度９/span>0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，材料应力，温度和密?/span> 5、测量速度９/span>100ms-1s/欠/span>＋span>可设?/span> 6、测量范围：500000?＇/span>铜/span>（/span> 7、标准传感器晶体９/span>6MHz 8、计算机接口９/span>RS-232/485串行接口＇span>波特玆span>1200?/span>2400?/span>4800?/span>9600?/span>19200?/span>38400可设?/span>＋span>数据佌/span>９span>8＋span>停止佌/span>９span>1＋span>校验９span>旟/span>（/span> 9、模拟输出：8比特分辨玆/span>＋span>PWM脉宽调制输出＇span>集电极开路或内部5V输出（/span> 10、工作环境：温度0-50℃，湿度5%-85%RH，不得有冷凝水珠 11、外形尺寸：90mm50mm18mm |
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EQ-TM106-2显示?/span> 1、输入电源：AC 220V10% 2、输出电源：DC 5V 3A 3、显示器９/span>122数码箠/span>不span>LED 4、通讯端口９/span>RS-485＇/span>波特玆span>1200?/span>2400?/span>4800?/span>9600?/span>19200?/span>38400?/span>设置＋span>数据佌/span>９span>8佌/span>＋span>停止佌/span>９span>1佌/span>＋span>奇偶校验９span>旟/span>（/span> 5、外形尺寸：182mm65mm160mm |
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EQ-TM106-3探头 1、适用晶片频率９/span>6MHz 2、适用晶片尺寸９/span>?14mm 3、安装法兰：CF35 4、冷却水管：?3mm，长?span>300mm?span>500mm?/span>1000mm 5、冷却水压：<0.3MPa 6、气动挡板路管：?3mm 7、压缩空气压力：<0.8MPa＋/span>>0.5MPa 8、烘烤温度：通水状?/span><200℃，不通水状态法?/span><100ℂ/span> 9、电气接口：BCN插座 |
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标准配件 |
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EQ-TM106-1监测组件 |
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EQ-TM106-2显示?/span> |
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3 |
EQ-TM106-3探头 |
1?/span> |
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