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产品详情
VTC-100-SE基本型桌面式喷胶朹/div>
VTC-100-SE基本型桌面式喷胶机的图片
参考报价:
面议
品牌9/dt>
关注度:
271
样本9/dt>
暂无
型号9/dt>
产地9/dt>
辽宁
信息完整度:
典型用户9/dt>
暂无
产品简今/div>

产品名称

VTC-100-SE基本型桌面式喷胶朹/strong>

主要特点

1、可台面式操作,外形尺寸紧凑

2、超声波雾化或二流体雾化喷嘴可逈/span>

3、底盘旋转加热,XY电缸移动式喷胵/span>

4、可处理**基片尺寸?寸晶圆,向下兼容

技术参?/span>

1、热盘温控范围:室温?50℃,温度分辨率:0.1ℂ/span>

2、温度均匀性:小于1%(工作范围内)

3、胶体流速范围:1-20ml/min

4、电缸移动速度?-200?s

5、电缸定位精度:0.02㎛/span>

6、电缸有效行程:300300㎛/span>

7、超声波雾化粒径:小?0m

产品规格

外形尺寸?28(W?#215;800(D?#215;510(H)㎜

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