产品型号

双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS

本设备要求在海拔1000m以下，温�?5�?#177;15℃，湿度55%Rh��10%Rh下使用、�/span>

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC380V 50Hz�?3A空气开关），必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯�?9.99%以上），需自备氩气气瓶（自�?span>?6mm双卡套接头）

4、工作台：尺�?500mm��600mm��700mm，承�?00kg以上

5、通风装置：需�?/span>

主要特点

1、采用高�?span>Al₂O₃保温材料，保证了炉膛有极好的温度均匀性，内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命、�/p>

2、设有双石英管，金属箔缠绕在内管的外表面上，以发甞�span>CVD反应、�/p>

3、双管的真空密封法兰允许反应气体通过两管之间＇�span>10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管、�/p>

4、配有四通道质量流量计控刵�span>4路气体，及采�?span>KF25快接和波纹管连接的高速机械泵、�/p>

5、底部设有滑轨，炉子可以从一端滑向另一端，从而实现快速升温和降温、�/p>

6、样品所在的位置每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制、�/p>

技术参�?/span>

1、电源：单相208V-240V AC 50Hz/60Hz2.5KW＇�span>20A保险丝）

2、石英管：外管外徃�span>?100mm，内徃�/span>?96mm，长1400mm

内管外径?80mm，内徃�span>?75mm，长1400mm

3、加热区９�span>440mm

4、恒温区９�span>120mm（双温区炉可获得240mm（�/p>

5、工作温度：**温度1100℃，连续温度1000ℂ�/p>

6、控温精度：��1ℂ�/p>

7、升降温速度：在使用前需要校正工作温度、加热效率、冷却效玆�/p>

8、真空度９�span>10^-3torr（机械泵），10^-5torr（分子泵（�/p>

9、真空法兰：SS304不锈钢，配有两个高温O型圈密封

10、流量计９�span>4路精密质子流量计，气体流量自动控制（数字显示（�/p>

MFC1范围0-100sccm MFC2范围0-200sccm

MFC3范围0-200sccm MFC4范围0-500sccm

11、流量精度：0.2%

12、进出气口：1/4"卡套

产品规格

尺寸９�span>550mm��380mm��520mm；重量：138kg

可选配仵�/span>

1、铜箔（150m��150mm��25��m，生长石墨烯用）

2�?span>防腐型数字式真空显示讠�/span>