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2000℃温度可控型30KW感应加热炈/span>SP-85KTC是一款较大型高温感应加热?/span>熔炼炉系统,配备30KW感应加热器?/span>8.5"'/span>216mm)石英管、铰接式法兰及阀门、石墨坩埚、石墨毯、氧化铝保温毯?/span>16L/min循环冷水机、真空泵和移动炉架,**温度可以达到2000ℂ/span>(使用时石英管内需通入保护性气体),是生长晶体、金属熔炼和各种材料的热处理?*选择、/span>
2000℃温度可控型30KW感应加热炈/span>SP-85KTC操作视频
产品垊/span>叶/span> |
2000℃温度可控型30KW感应加热炈span>SP-85KTC |
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温?5?#177;15℃,湿度55%Rh10%Rh下使用、/span> 1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水) 2、电:AC380V 50Hz?3A空气开关),必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯?9.99%以上),需自备氩气气瓶(自?span>?6mm双卡套接头) 4、工作台:尺?500mm600mm700mm,承?00kg以上 5、通风装置:需?/span> |
主要特点 |
1、采用多块氧化铝制作的耐火材料,用于支撑石墨坩埚,并防止热量辐射、/p> 2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统、/p> 3、温控器采用PID方式控温,可设置30段升降温程序,设有过热和断偶保护功能、/p> 4、配有防腐型真空计,当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类的不同进行系数转换,量程可?span>3.810E-5 torr、/p> 5、迷你型浮子流量计精度为4%、/p> 6、配有双级旋片机械泵'span>2L/s),可使石英管内真空度达?span>10E-2torr、/p> |
技术参?/span> |
感应加热?/p> 1、工作电压:三相AC 380V 50Hz(需60A空气开关) 2、工作电流:7Amps-70Amps(需100A空气开关) 3、功率:**振荡功率30KW?*输入功率15KW 4、输出频率:30KHz-110KHz 5、占空比9span>80% 6、感应线圈:内径?220 mm,高65 mm 7、空气冷却:后风扆/p> |
温度控制器及热电偵/p> 1、工作电压:AC208V-240V单相 2、控温精度:3ℂ/p> 3、热电偶9span>C型,外径?1/4",长10" 4、连续工作温度范围:1000ℂspan>-2000ℂ/p> 5?*升温速率9span>4ℂspan>/s'span>1000ℂspan>-1200℃)?span>3ℂspan>/s'span>1200ℂspan>-1500℃)?span>1ℂspan>/s-2ℂspan>/s'span>1500ℂspan>-2000℃) |
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石墨坩埚(易耗件(/p> 1、高纯石墨坩埚:外径?114mm,内徃span>?100mm,高142mm 2?*容量:样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2?*质量丹span>4kg(以铁标定) 3、保温层:石墨坩埚外环绕三层隔热材料,从内至外分别为石墨毡(可耐温2200℃)-氧化铝(可耐温1700℃)-髗/p> 温毡,总厚度为32mm |
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石英管和密封法兰 1、石英管:两端开口,外径?216mm,内徃span>?208mm,长500mm 2、顶部法兰:采用不锈钢折叠式法兰,装有防腐型真空计、不锈钢截止阀,设月span>1?span>1/4"的铠装接口(可插入热甴/p> 偶至石英管内部,更准确地测量样品温度(/p> 3、底部法兰:设有KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接
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水冷朹/p> 1、温度:5ℂspan>-30ℂ/p> 2、水流速:>16L/min 3、水箱容积:12L,采用不锈钢制作 4、水压:?span>0.1MPa 5、流量:?span>5L/min (建议使用特定的冷却剂液以达?*的冷却效果) |
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真空泴/span> 工作电压9/span>AC208V-240V单相 |
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移动炉架 尺寸9/span>700mm1000mm700mm,钢框架结构,方便移动感应加热器和带法兰的石英管 |
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产品规格 |
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注意事项 |
操作前,必须仔细阅读说明书,且操作人员需带防护面罩。使用时,熔炼必须在≣span>0.02Mpa的流动氩气下进行,流 量小亍span>200ml/min,需始终保持石英管内的气厊span><0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压,若气压超过安 全值,会引起石英管开裂、法兰蹦出,甚至造成人身伤害、/p> |
其他事项 |
本机可改丹span>RTP(快速热处理炉)和混合物物理化学气相沉积'span>HPCVD)系统。请参看下图、/p> |