4"高真穹/span>RTP炈/span>OTF-1200X-4-RTP-HV是一款精巧型快速热处理管式炉，配有4"石英管及高真空系统（机械泴/span>+分子泵）＋/span>是专为半导体或太阳能电池基片?*3"）的退火而设计。本机采?/span>10KW红外灯管加热?快升温速度丹/span>50ℂ/span>/s，设月/span>30段温度控制，精度丹/span>1ℂ/span>。此外，通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显礹/span>、/span>
控温仪表操作视频
产品型号 |
4′/span>高真穹span>RTP炈span>OTF-1200X-4-RTP-HV |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温?5?#177;15℃，湿度55%Rh10%Rh下使用、/span> 1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水） 2、电：AC380V 50Hz?3A空气开关），必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯?9.99%以上），需自备氩气气瓶（自?mm双卡套接头） 4、工作台：尺?500mm600mm700mm，承?00kg以上 5、通风装置：需?/span> |
主要特点 |
1、石英样品架固定在滑动法兰上，使样品装载更加容易、/p> 2、样品架上放?span>76mm皃span>AlN基片，承载需要退火的样品、span>AIN具有很高的热导率，可使样品放置的区域有很好的温度均匀性（5℃）、/p> 3、内插式热偶保证了温度的准确性、/p> 4、采?span>PID自动温度控制＋span>30段程序，并设有过热和断偶保护功能、/p> 5、已通过CE认证、/p> |
技术参?/span> |
1、电源：炉体单相208V-240V＋span>50Hz/60Hz＋span>10KW 高真空系绞span>AC110V/220V任意切换＋span>50Hz/60Hz＋span>110W 2、炉体结构：双层莫来石钢枃/p> 3、石英管：外徃span>?110mm，内徃/span>?103mm，长380mm 4、样品架９span>76mm 5、加热元件：8根红外灯管，灯丝镾span>200mm，丝圇span>?10mm，灯镾span>300mm 6、加热区９span>102mm305mm，均匀?#177;5ℂ/p> 7、热偶：K型热偵/p> 8、温度：**温度1100℃，额定温度1000℃，?span>1000ℂ/span>-1100℃下保温时间不得超过600s 9、控温精度：0.5ℂ/p> 10?快升温速度９span>RT-800℃内50ℂspan>/s＋span>800ℂ/span>-1000℃内10ℂspan>/s 11、高真空系统气动时间９span>2min 12、真空度９span>6.310-5mbar（在40min中） 13、真空法兰：KF-D25，配有两个高?span>O型圈密封 14、流量计９span>16ml/min-160ml/min 15、前级泵流速：?span>10mbar状态下3.8L/min＋span>50Hz：span>4.4L/min＋span>60Hz |
产品规格 |
炉体：尺寷span>760mm330mm530mm，重野span>50kg 高真空系统：尺寸９span>600mm600mm700mm，重野span>18kg |
