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产品详情
?路浮子混气RTP管式炉RTP-1000-LV3F
产品简今/div>

?/span>3路浮子混氓/span>RTP管式炈/span>RTP-1000-LV3F是专为半导体基片、太阳能电池及其它样品(尺寸可达3")的退火而设计,配有3路流量计和机械泵。本机采?/span>9KW的红外灯进行加热?快升温速度可达100ℂ/span>/s,配月/span>RS485接口,可以通过控制软件在计算机上控制运行并显示温度曲线、/span>

产品型号

?span>3路浮子混氓span>RTP管式炈span>RTP-1000-LV3F

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温?5?#177;15℃,湿度55%Rh10%Rh下使用、/span>

1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)

2、电:AC380V 50Hz?3A空气开关),必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯?9.99%以上),需自备氩气气瓶(自?span>?6mm双卡套接头)

4、工作台:尺?500mm600mm700mm,承?00kg以上

5、通风装置:需?/span>

主要特点

1、双屁span>Al2O3纤维钢构,无需水冷或风冷、/p>

2、内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层,可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命、/p>

3?span>PID控制器,可以设置30段升降温程序,并设有过热保护和断偶功能、/p>

4、已通过CE认证、/p>

技术参?/span>

1、电源:单相208V-240V AC 50Hz/60Hz9KW

2、石英管:外徃span>?110mm,内徃/span>?103mm,长380mm

3、加热元件:红外灯管,直徃span>?10mm,长300mm

4、加热区9span>300mm

5、工作温度:**温度1100ℂ/p>

6、控温精度:0.5ℂ/p>

7?*升温速度9span>RT-800℃时丹span>50ℂspan>/s+span>800ℂspan>-1000℃时丹span>10ℂspan>/s

8、温控仪:可控硅'span>SCR(span>PID自动控制

9、真空法兰:不锈钢,带有水冷接口和针阀,双层高?span>O型圈密封,长时间?span>>900ℂ/span>条件下运行必须采用水冷,循环水流量为0.5m3/hr

10、真空度9span>10-3torr

11、流量计9span>3个,量程40cc/min-400cc/min,精?span>4%FS

产品规格

尺寸:炉佒span>760mm330mm530mm,真空混气系绞span>600mm600mm597mm;重量:45kg

可选配仵/span>

防腐型数字式真空显示讠/span>

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