产品型号

1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统OTF-1200X-4-C4LV

本设备要求在海拔1000m以下，温�?5�?#177;15℃，湿度55%Rh��10%Rh下使用、�/span>

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC380V 50Hz�?3A空气开关），必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯�?9.99%以上），需自备氩气气瓶（自�?span>?6mm双卡套接头）

4、工作台：尺�?500mm��600mm��700mm，承�?00kg以上

5、通风装置：需�?/span>

主要特点

1、采用高纯氧化铝保温材料，保证了极好的温度均匀性、�/p>

2、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高反射率和保护炉膛洁净度、�/p>

3、采�?span>PID控制器，可以设置30段升降温程序、�/p>

4、金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应、�/p>

5、采用双管真空密封法兰，允许反应气体通过两管之间＇�span>10mm间隙）、�/p>

6、冷却气体直接通入内管、�/p>

7、配有带KF25快接和波纹管的高速机械泵、�/p>

8、炉底部装有滑轨，炉体可从一端滑向另一端，从而实现快速升温和降温。为了获得较快的加热速度，可以先将炉体预热，然后滑至放置样品处；为了获得较快的冷却速度，可将炉体滑至另一端，同时将冷气通入样品所在处、�/p>

9、密封法兰系统采用不锈钢制作、�/p>

10、已通过CE认证、�/p>

技术参�?/span>

管式炈�/p>

1、电源：单相AC208V-240V50Hz/60Hz 2.5KW＇�span>20A保险丝）

2、石英管：外管外徃�span>?100mm＋�/span>内径?96mm，长1400mm

内管外径?80mm，内徃�span>?75mm，长1400mm

3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝（表面涂有氧化锆（�/p>

4、加热区域：440mm

5、恒温区域：120mm�?#177;1℃在400ℂ�/span>-1100℃）

6、工作温度：**1100℃，连续工作1000ℂ�/p>

7�?*升降温速率９�span>20ℂ�span>/min

8、控温精度：��1ℂ�/p>

9、真空度９�span>10^-2torr（机械泵），10^-5torr（分子泵（�/p>

质量流量混气系统

1、质子流量计９�span>4路精密质子流量计，数字显示，气体流量自动控制

MFC1范围0-100sccm＋�span>MFC2范围0-200sccm＋�span>MFC3范围0-200sccm＋�span>MFC4范围0-500sccm

2、流量精度：0.2%

3、气路：4路（每个气路都有一个独立的不锈钢针阀控制（�/p>

4、进出气口：1/4"卡套

5、混气罐９�span>1�?/p>

产品规格

尺寸：管式炉550mm��380mm��520mm，移动架600mm��600mm��597mm

重量９�span>135kg

可选配仵�/span>

1�?span>分子泴�/span>

2�?span>双温区管式炉

3�?span>铜箔（生长石墨烯150mm��150mm��25��m（�/p>